1、故障現象主機開機後程序不運行。
分析與解決方法：檢查主機電源是否通電及各板直流工作電源電壓是否正常；檢查3A保險管是否融斷；檢查通訊線插頭是否脫落、鬆動；檢查儀器主機通訊線是否有輸出，可用示波器測量；點擊“通訊”按鈕，依次選擇COM1、COM2、COM3、COM4通訊串口。如果以上檢查均無誤，就檢查儀器主機內計算機複位狀態。
2、故障現象初始化不通過。
分析及解決方法：
(1)測量向導內的初始化不通過，先點擊測量向導內的“取消”按鈕，然後點擊“主界麵”按鈕，最後點擊“通訊”按鈕，選擇COM1或COM2通訊的串口聯機。聯機後，觀察能量是否在90％~110％。如果能量低，則返回測量向導頁麵重新初始化即可解決。
(2)點擊主界麵內的“自動能量平衡”按鈕，能量無法自動平衡，同時，銅(C)、鐵(Fe)、鈣(Ca)的負高壓超過380V；鎂(Mg)、鋅(Zn)的負高壓超過500V。更換元素燈(五元素燈壽命可能到了)後，重新點擊“自動能量平衡”按鈕即可。
(3)關機後，打開儀器左右後麵板，檢查各插頭是否鬆動，各集成電路塊是否鬆動。重啟開機，點擊主界麵內的“自動能量平衡”按鈕或能量的“＋＋”和“--”按鈕，觀察9000-30-01-00主板上的發光二極管是否閃動，如果不閃動，則是通訊出現問題。
(4)檢查主機與計算機之間通訊聯線是否有鬆動，個別插針是否彎曲，連線是否脫焊。
(5)光路係統出現問題：將元素燈匯聚的光斑照射在入射狹縫的中央；將凹麵光柵匯聚的光斑照射在入射狹縫背麵的中央±2mm的區域內；調整大狹縫組、小狹縫組的位置，觀察是否有能量出現。
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3、故障現象元素燈點不亮或元素燈工作異常。
分析及解決方法：用附件箱內的備用五元素燈，插入主機內，觀察儀器是否恢複正常；檢查燈驅動板上0.5A的保險管是否燒毀；檢查元素燈的插頭是否插入了燈插座內，且接觸良好；檢查燈板工作電壓是否正常( 15V、-15V、 5V)；檢查電源板電壓輸出是否正常( 15V、-15V、 5V，在斷開負載的情況下測量)；檢查相關燈電源驅動信號是否正確，包括燈選擇信號等(可用示波器測量)；檢查燈電流D/A是否有輸出；檢查點燈是否有電源 450V；檢查點燈調製脈衝是否正確(可用示波器測量)；檢查點燈電源連線是否脫焊；檢查相關燈電源驅動率管是否正常。
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